高頻直流高壓發生器一般分為0.5，1.0，1.5，2.0和3.0共5個等級，每一個等級對應的允許誤差分別是±0.5，±1.0，±1.5，±2.0，±3.0。

　　二、輸出電壓

　　高頻直流高壓發生器輸出電壓基本誤差用下式表示：

　　輸出電壓的相對誤差=【（輸出電壓示值-輸出電壓實際值）/輸出電壓實際值】*100%。

　　三、輸出電流

　　高頻直流高壓發生器輸出電流基本誤差用下式表示：

　　輸出電流的相對誤差=【（輸出電流示值-輸出電流實際值）/輸出電流實際值】*100%。

　　四、輸出電壓持續時間

　　輸出電壓持續時間設定示值與實測值之差不應超過實測值的5%。用下式表示：

　　輸出電壓持續時間的相對誤差=【（輸出電壓持續時間的示值-輸出電壓持續時間的實際值）/輸出電壓持續時間的實際值】*100%。

　　五、輸出電壓的紋波

　　高頻直流高壓發生器輸出電壓的紋波系數應小于5%。用下式表示：

　　輸出電壓的紋波系數=【輸出電壓的紋波電壓有效值*分壓比/輸出電壓的額定值】*100%。

　　六、短期穩定性

　　高頻直流高壓發生器在開機5min內，輸出電壓的漂移值應不大于額定輸出電壓值的1%。用下式表示：

　　輸出電壓的漂移值=【（輸出電壓zui大值-輸出電壓zui小值）/輸出電壓額定值】*100%。